热波探针灵敏度的理论分析

当一束聚焦的、调制的激励激光照射固体材料时，表面上除了产生周期性的温 度分布，还产生局部的周期性形变。在形变区域，探测激光束的反射光受到周期性的偏 转。研究了这种周期性偏转与材料性质和激励激光束参数之间的关系。从热弹性学基本 方程出发建立了数学模型。利用Ｈａｎｋｅｌ积分变换方法得到了交变偏转角的积分表达 式。给出了对于单晶硅的若干计算机模拟结果。