Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法

被引：7

作者：

李亚磊

邓新绿

徐军

机构：

[1] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

来源：

真空科学与技术学报 | 2005年 / 06期

关键词：

Langmuir探针; 抗干扰; 信噪比; I-V特性曲线;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.2005.06.014

中图分类号：

O536 [辐射与测量];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音。上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案。

引用

页码：459 / 462

页数：4

共 8 条

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