大气压下氦/氮射频放电冷等离子体特性

被引:3
作者
王华博
孙文廷
李和平
包成玉
机构
[1] 清华大学工程物理系
基金
教育部留学回国人员科研启动基金;
关键词
等离子体物理; 大气压辉光放电; 射频; 放电模式;
D O I
10.16511/j.cnki.qhdxxb.2007.03.021
中图分类号
O53 [等离子体物理学];
学科分类号
070204 ;
摘要
大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制,在生物医学、电子工业、国防等领域有非常广阔的应用前景。为了拓展等离子体形成气体的种类,降低该技术的应用成本,对大气压下纯氮射频放电进行了研究。实验中采用13.56MHz射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电,并比较了纯氦、纯氮和氦-氮混合气体条件下的放电特性。实验结果表明,大气压条件下,纯氦辉光放电具有两个稳定的放电模式(α模式和γ模式),而纯氮目前则只能稳定地工作在γ放电模式。
引用
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