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微装配技术的进展和发展趋势
被引：27
作者：
罗翔
俞华开
颜景平
机构：
[1] 东南大学机械工程系!南京,浙江大学!杭州,东南大学机械工程系!南京
来源：
关键词：
微装配;
机器人;
视觉伺服;
D O I：
10.19650/j.cnki.cjsi.2001.s1.162
中图分类号：
TN42 [微模组件];
学科分类号：
140101 [集成纳电子科学];
摘要：
随着微机电系统的快速发展 ,对微装配技术的需求日益迫切。本文详细地综述了近年来微装配技术发展的几个主要方面 ,包括 :微装配机理 ,视觉伺服微装配的结构 ,微夹持器等等。文章最后对今后微装配的发展方向进行了讨论
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