大口径衍射光学束匀滑器件的研制附视频

被引:4
作者
谭峭峰
严瑛白
金国藩
徐端颐
机构
[1] 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室!北京
关键词
衍射光学器件; 束匀滑; 精细化设计; 混合优化算法;
D O I
暂无
中图分类号
TN256 [集成光学器件];
学科分类号
0702 ; 070207 ;
摘要
采用爬山 -模拟退火混合优化算法 ,选取合适的权重因子 ,改善了衍射光学束匀滑器件的设计性能 ,其顶部不均匀性小于 1 % ,能量利用率优于 95%。采用旋转镂空掩模板 ,加工出 1 80的束匀滑器件 ,并进行了实验研究 ,获得了较好的束匀滑光强包络。为获得真实的束匀滑分布、改善顶部均匀性、提高抗波前畸变宽容度 ,选取特定的焦面采样间隔进行了精细化设计。
引用
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