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准分子激光对高分子薄膜的刻蚀
被引：5
作者：
方尔梯
吴源相
黄正宇
丁明
曾宪康
机构：
[1] 华东化工学院化学物理研究室
[2] 华东化工学院化学物理研究室 上海
[3] 上海
来源：
关键词：
紫外激光;
刻蚀;
PET;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
对PET材料在紫外激光作用下被刻蚀的过程进行了研究,并对其中的机理及影响刻蚀的因素做了讨论。
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页数：4
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