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光学外差法检测超光滑表面粗糙度
被引：2
作者：
罗忠生
杨建坤
张美敦
机构：
[1] 上海交通大学光纤技术研究所
[2] 国防科技大学应用物理系
来源：
关键词：
表面粗糙度；光学外差法；测量光路；均方根值;
D O I：
10.16183/j.cnki.jsjtu.1999.01.016
中图分类号：
TH741.3 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
随着加工技术的发展，超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要．讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统，采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束，提出了新的优化测量光路．该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态，不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷，保证了系统的稳定性，且同时使接收端光束的偏振态方向一致，使干涉信号可见度最大，提高了系统的信噪比和测量精度．采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量．光路结构简单，实用性强．通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度．结果表明，系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于１ｎｍ．
引用
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