一种新型的纳米级外差干涉信号处理方法

被引：1

作者：

赵洋，李达成，曹芒，王佳

机构：

[1] 清华大学

来源：

关键词：

纳米级; 外差干涉信号; 信号处理电路; 外差干涉; 信号处理方法;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1995.s1.086

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

本文介绍了一种新的用于纳米级外差干涉信号处理方法。该方法采用了相位及相位整数周期测量法，使外差干涉测量的分辨率提高到０．３ｎｍ。本文给出了采用该方法的外差干涉仪的实验结果。

引用

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