苯乙烯等离子体聚合过程的发射光谱研究

被引：4

作者：

陈猛，杨津基

机构：

[1] 清华大学电机工程与应用电子技术系

来源：

清华大学学报(自然科学版) | 1995年 / 04期

关键词：

苯乙烯等离子体；发射光谱；聚合物薄膜;

D O I：

10.16511/j.cnki.qhdxxb.1995.04.003

中图分类号：

O632.13 [芳基乙烯聚合物];

学科分类号：

摘要：

为实现对聚合膜结构、性能的优化控制，通过测量苯乙烯等离子体辉光区和两极板鞘层区内的发射光谱，得到了ＣＨ、Ｃ４Ｈ２＋粒子发射强度与放电气压、功率的变化关系曲线，并以此研究了等离子体内部过程与膜结构、沉积速率之间的关系。研究结果表明，等离子体聚苯乙烯薄膜的沉积速率取决于等离子体中所产生的各种活性粒子（包括激发态分子、碎片自由基、离子等）的总数目；而聚合膜中的苯环含量，则与气相中含有苯环基团的那部分活性粒子数目相关。

引用

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