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采用线型PSD设计激光位移传感器的研究
被引：4
作者：
王晓东
赵杰
蔡鹤皋
机构：
[1] 哈尔滨工程大学
[2] 哈尔滨工业大学
[3] 哈尔滨工业大学 哈尔滨
[4] 哈尔滨 O
来源：
关键词：
位移传感器;
三角法测量;
非接触测量;
光电元件;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
PSD元件具有分辨率高,检测电路简单,速度快等优点,是一种新型的敏感元件,本文研究了采用PSD作为敏感元件,半导体激光管作为发光元件设计激光位移传感器的有关问题。
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