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气相法同质外延金刚石单晶薄膜的研究
被引：3
作者：
张志明，李胜华，蔡琪玉，何贤昶，沈荷生
机构：
来源：
关键词：
金刚石薄膜，同质外延，微波PCVD方法;
D O I：
10.16183/j.cnki.jsjtu.1994.03.020
中图分类号：
O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];
学科分类号：
摘要：
本文以＜１００＞和＜１１１＞两种取向的金刚石为衬底，用微波ＰＣＶＤ法进行了同质外延实验，考察了衬底取向、反应气体、碳源浓度等因素对外延层形貌与结构的影响，给出了获得比较理想单晶外延层的实验条件
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