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非球面干涉仪零检验的补偿器设计
被引:11
作者
:
伍凡
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学院光电技术研究所!成都
伍凡
机构
:
[1]
中国科学院光电技术研究所!成都
来源
:
应用光学
|
1997年
/ 02期
关键词
:
法线像差;
零检验;
补偿器;
干涉仪;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH74 [光学仪器];
学科分类号
:
0803 ;
摘要
:
根据三级像差理论推导非球面干涉仪零检验的单透镜补偿器在几种检验光路中的初始结构参数计算公式。讨论最佳化设计方法,并给出设计实例。
引用
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应用光学.[M].张以谟主编;.机械工业出版社.1982,
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