未找到相关数据
TiN/AlN 纳米混合膜的微结构及力学性能
被引：7
作者：
李戈扬
施晓蓉
辛挺辉
吴亮
李鹏兴
机构：
[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
来源：
关键词：
纳米薄膜；磁控溅射；硬度;
D O I：
10.16183/j.cnki.jsjtu.1999.02.011
中图分类号：
O484.2,O484.1 [];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
通过双靶轮流反应溅射的工艺方法制备了ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜．采用ＸＲＤ衍射、ＴＥＭ和显微硬度等测试方法对ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的微结构和力学性能进行了研究．结果表明，ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米混合膜的晶粒大小为１０～２０ｎｍ；薄膜总体表现出硬度增强效果，在ＴｉＮ∶ＡｌＮ（体积比）≈１∶１时，薄膜硬度获得极大值ＨＫ３２．２５ＧＰａ．
引用
收藏
页码：38 / 40
页数：3
相关论文