双焦干涉表面微观轮廓检测

被引：8

作者：

卓永模

杨甬英

徐敏

张为权

机构：

[1] 浙江大学光科系,浙江大学光科系,浙江大学光科系,浙江大学光科系

来源：

关键词：

轮廓检测; 高灵敏度; 无损检测; 无损探伤; 材料试验; 光洁度量仪; 表面轮廓仪; 轮廓仪; 系统噪声; 电子噪声; 参考光束; 共模抑制技术; 光轴方向;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1993.02.006

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触针式表面轮廓仪对同一样品表面测试结果进行了比对,获得了满意的结果。

引用

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