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微机械陀螺原理与关键技术
被引：9
作者：
高钟毓
机构：
[1] 清华大学
来源：
关键词：
振动陀螺;
框架式;
陀螺仪;
航海仪器;
音叉;
机械陀螺;
硅微结构;
特征频率;
微米／纳米技术;
D O I：
10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.007
中图分类号：
TH701 [理论];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
本文介绍两种结构的微机械陀螺的基本工作原理、主要性能指标以及设计和制造中的关键技术。
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