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显微干涉系统测量微细图形的台阶高度
被引：3
作者：
薛实福
李庆祥
王伯雄
徐毓娴
于水
机构：
[1] 精密仪器与机械学系
来源：
关键词：
显微镜;
干涉测量;
台阶高度;
D O I：
10.16511/j.cnki.qhdxxb.1990.05.006
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
介绍了显微干涉系统测量微细图形台阶高度的方法。从理论和设计角度分析了干涉条纹形状、间隔、对比度及稳定性，对该系统进行了实验，实验结果表明，对比度Ｋ＞０．８，测量精度优于８ｎｍ。
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