微进给工作台伺服控制技术

被引：3

作者：

蒋培军

齐国生

徐端颐

李庆祥

范晓东

钱坤

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学精密仪器与机械学系北京

[3] 北京

来源：

清华大学学报(自然科学版) | 2004年 / 05期

关键词：

机电一体化; 精密工作台; 前馈控制; 摩擦补偿;

D O I：

10.16511/j.cnki.qhdxxb.2004.05.021

中图分类号：

TP271.4 [];

学科分类号：

0711 ; 071102 ; 081103 ; 081104 ;

摘要：

为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分(PID)伺服滤波器实现位移控制。经实验方法测定,系统摩擦可以近似为Coulomb摩擦加Stribeck效应的模型。采用了基于该模型的摩擦补偿方法以消除电机死区影响。为实现精确轨迹控制,控制系统采用了零相位误差跟踪控制(ZPETC)技术。针对高增益PID、摩擦补偿和ZPETC加摩擦补偿这3种控制方法,分别进行了轨迹跟踪实验,其轨迹误差分别为±0.8、±0.6和±0.3μm。

引用

页码：657 / 660

页数：4

共 5 条

[1]

Robust motion controller design for high-accuracy positioning systems. Lee S L,Tomizuka M. IEEE Transactions on Industrial Electronics . 1996

[2]

On the design of digital tracking controllers. Tomizuka M. ASME Journal Dynamic System Measurement and Control(50th Anniversary Issue) . 1993

[3]

A survey of models, analysis tools and compensation methods for the control of machines with friction. Armstrong H B,Dupont P,Canudas W C. Automatica . 1994

[4]

Friction compensation for a process control valve. Kayihan A,Doyle F J III. Control Engineering . 2000

[5]

Robust friction compensation for submicrometer positioning and tracking for a ball-screw-driven slide system. Ro P I,Shim W,Jeong S. Precision Engineering . 2000

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