8.0nm X射线激光反射镜Mo/B-4C多层膜制备及其特性

被引：1

作者：

吕俊霞

马月英

裴舒

沈长斌

曹健林

陈星旦

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所!

[2] 大连铁道学院!

来源：

关键词：

软X射线,Mo/B4C多层膜　磁控溅射法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

用磁控溅射法制备工作波长约８０ｎｍ的Ｍｏ／Ｂ４Ｃ多层膜作为正入射短波长（λ＜１０．０ｎｍ）软Ｘ射线激光反射腔的反射镜。经Ｘ射线衍射仪和ＴＥＭ检测，多层膜周期结构准确，热稳定性高。

引用

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