多晶硅微机械抗粘附结构参数设计

被引：7

作者：

丁建宁

范真

李长生

温诗铸

机构：

[1] 江苏大学微米纳米科学技术研究中心

[2] 清华大学

来源：

中国机械工程 | 2003年 / 04期

基金：

高等学校博士学科点专项科研基金;

关键词：

微型机械; 表面张力; Casimir力; 稳定性; 粘附;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明 ,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关 ,而与结构的宽度无关。给出了抗粘附结构参数设计的对数坐标图

引用

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