钽等离子体渗氮的表面过程分析

被引：11

作者：

张德元

李放

罗文

蔡莉

许兰萍

林勤

机构：

[1] 北京科技大学物理化学系!北京江西省科学院应用物理研究所

[2] 南昌

[3] 江西省科学院应用物理研究所!南昌

[4] 北京科技大学物理化学系!北京

来源：

中国有色金属学报 | 2000年 / 02期

关键词：

钽; 离子渗氮; 表面过程;

D O I：

10.19476/j.ysxb.1004.0609.2000.02.009

中图分类号：

TG156.8 [化学热处理];

学科分类号：

080201 ; 080503 ;

摘要：

对钽表面渗氮的固气界面反应过程进行了热力学和动力学分析 ,从理论上预测了各种参数 (压力、气体组成、温度、电参数等 )对表面过程的影响 ,并借助于等离子体 ,在较低温度下获得了由表面层与N在Ta中的固溶体组成的表面硬化层。表面层为六方晶系的Ta6N2 ,57和 /或非晶态。通过调整工艺参数有效地抑制了钽表面氧的渗入和Ta2 O5 的形成 ,使得离子渗氮后 ,仍保持较低的表面粗糙度

引用

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