干涉型激光直写制作光学可变图像的优化方法

被引：12

作者：

邵洁

陈林森

机构：

[1] 苏州大学信息光学工程研究所,苏州大学信息光学工程研究所苏州,苏州

来源：

关键词：

激光直写; 光学可变元件; 干涉; 光栅; 衍射效率;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2003.06.019

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

分析了用干涉型激光直写技术制作光学可变图像的优点 ,为达到最佳图像质量和最短运行时间 ,针对不同类型的图像提出光刻轨迹按光栅取向连续曝光和控制光电开关的通断不连续曝光的两种优化运行式 ,并给出了实验比较结果

引用

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