陶瓷薄膜与金属间的浸润性及其界面的研究

被引：7

作者：

王家祥

陈宝清

郭可讱

黄燕清

机构：

[1] 大连理工大学材料系

[2] 日本东海大学工学部大连

[3] 大连

来源：

真空 | 1991年 / 03期

关键词：

陶瓷薄膜; 浸润性; 界面;

D O I：

10.13385/j.cnki.vacuum.1991.03.006

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文在对ＴｉＮ、ＴｉＣ陶瓷薄膜与金属Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｆｅ间的浸润性测量的基础上，用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、电子探针（ＥＰＭＡ）对其界面进行了观察。结果表明：浸润性较差的Ａｇ、Ｃｕ与ＴｉＮ、ＴｉＣ的界面平整，几乎没有发生相互扩散和化学反应；而浸润性较好的Ｆｅ、Ｎｉ与ＴｉＮ、ＴｉＣ的界面有明显的扩散和化学反应现象沿着ＴｉＮ、ＴｉＣ的晶界扩散；薄膜部分甚至全部溶入金属中。ＴｉＣ薄膜与Ｆｅ的界面反应程度大于ＴｉＮ薄膜。

引用

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