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硅微机械谐振式传感器起振机理分析
被引：2
作者：
李志能，陆献尧，张维卫
机构：
来源：
关键词：
硅桥；谐振式传感器；起振机理；光生电致张力效应;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN752.8 [机械振荡器];
学科分类号：
080904 ;
摘要：
本文描述了激光束与硅桥作用产生的光弹、光热和光生电致张力效应．从基本的光生载流子方程和热扩散方程出发，分析和计算了各效应在桥上产生应力的大小，表明光生电致张力效应是硅桥起振的主要原因．
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页数：6
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