SnO2纳米薄膜的制备、显微结构及气敏性能

被引:8
作者
赵杰
赵经贵
高山
霍丽华
王海水
席时权
机构
[1] 黑龙江大学化学化工学院
[2] 中国科学院长春应用化学研究所
[3] 中国科学院长春应用化学研究所 哈尔滨
[4] 哈尔滨
[5] 长春
基金
黑龙江省自然科学基金;
关键词
SnO2薄膜; 溶胶凝胶法; 气敏性能;
D O I
暂无
中图分类号
TB43 [薄膜技术];
学科分类号
0805 ;
摘要
以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增加 ,其电子光谱的吸收呈线性增加 ,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定值。薄膜对 1 0 0~ 1 0 0 0 μL/L的乙醇和丙酮都有较好的敏感性和响应 恢复特性 ,对 80 0 μL/L的气体响应和恢复时间分别为 3 0和 60s。
引用
收藏
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页数:4
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