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- [1] 静电陀螺仪技术[M]. 清华大学出版社 , 高钟毓著, 2004
- [2] Electrostatically suspended and sensed micro-mechanical rate gyroscope. Torti R,Gondhalekar V,Tran H,Selfors B. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1994
静电悬浮式惯性仪表中的微位移检测技术
被引：9
作者：
韩丰田
吴秋平
董景新
机构：
[1] 清华大学精密仪器及机械学系
来源：
关键词：
静电悬浮;
差动电容传感器;
微位移检测;
惯性仪表;
D O I：
10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2007.01.019
中图分类号：
U666.164 [];
学科分类号：
摘要：
静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位移检测电路的原理,分别对静电陀螺、静电加速度计和MEMS微陀螺、微加速度计的电极配置方案和位移检测的接口电路进行了分析,并对不同的位移检测方案进行了比较。
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