结晶态WO3膜电致变色性能及机理

被引：8

作者：

陈士元

史月艳

殷志强

杨晓继

机构：

[1] 清华大学电子工程系!北京

来源：

真空科学与技术 | 1997年 / 04期

关键词：

电致变色; 吸收调制; 反射调制;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.1997.04.001

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

磁控溅射沉积获得的非晶态WO3膜在空气中分别加热200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，并保温30min进行热处理。随着热处理温度的提高，非晶态WO3膜的电致变色性能下降。当热处理温度高于350℃时，非晶态转变成结晶态。着色的结晶态WO3膜在可见光谱范围（0．38～0．78μm）及太阳光谱范围（0．34～2．5μm）内吸收调制能力低于非晶态WO3膜，但是结晶态WO3膜在近红外区有较强的反射调制。基片加温到220℃以上沉积得到的WO3膜均为结晶态。这种结晶态膜的电致变色性能优于空气中热处理得到的结晶态WO3膜，但两种膜的变色性能与各自的制备温度没有明显的依赖关系。在相同的电化学测试参数条件下，结晶的WO3膜的变色响应速率低于非晶态膜。利用X射线光电子能谱（XPS）及X射线衍射分析判定，结晶态WO3膜在HCl电解液中施加电信号发生着色／退色是由于H＋的注入／抽取所致，在着色的膜中存在着W6＋，W5＋及W4＋离子。

引用

页码：219 / 225

页数：7

共 8 条

[1]

Faughnan B W,Crandall R S,Heyman P M. RCA Review . 1975

[2]

Granquist C G. Applied Physics . 1993

[3]

TECHNOLOGY[P]. 英国专利:GB8602522D0,1986-04-16

[4]

Optical Properties of Solids. Wooten F. . 1972

[5]

Carpenter M K,Conell R S,Corrigan D A. Solar Energy Materials . 1987

[6]

Cronin J P et al. Solar Energy Materials . 1993

[7]

Deb S K. Philosophical Magazine . 1973

[8]

Gottesffeld S,McLntyre J D E,Beni G et al. Applied Physics Letters . 1978

← 1 →