原子氢刻蚀Si衬底产生的微蚀坑对金刚石成核的阻止效应

被引：5

作者：

杨国伟，毛友德

机构：

[1] 湘潭大学物理系,合肥工业大学应用物理系

来源：

关键词：

金刚石，薄膜，成核，缺陷，原子氢，浸蚀，金刚石薄膜;

D O I：

10.16553/j.cnki.issn1000-985x.1994.03.010

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

本文提出了在低压气相生长金刚石薄膜系统中，Ｓｉ衬底表面微蚀坑对金刚石成核的阻止效应，较好地解释了实验上发现的原子氢刻蚀Ｓｉ衬底产生的微缺陷对金刚石成核破坏作用的机理。

引用

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