铝含量对(Ti,Al)N镀层结构及耐磨性的影响

被引:2
作者
白羽
夏立芳
熊仁章
不详
机构
[1] 不详
[2] 哈尔滨工业大学热加工重点实验室!黑龙江哈尔滨
[3] 不详
[4] 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院!黑龙江哈尔滨
[5] 五二所宁波分所!浙江宁波
[6] 不详
关键词
多弧离子镀; (Ti,Al)N镀层; 铝含量; 耐磨性;
D O I
暂无
中图分类号
TG174.45 [无机物复层保护];
学科分类号
摘要
运用多弧离子镀在W6Mo5Cr4V2 高速钢表面沉积了(Ti,Al)N 镀层,并经SEM、XRD 和EDS等方法分析表明,多靶联合工作获得的(Ti,Al)N 镀层,其成分可连续变化,随弧流增大,铝含量增多;随负偏压增大,铝含量降低.弧流与偏压二者对镀层的成分均有影响,其中弧流较为显著.XRD分析表明,镀层除(Ti,Al)N 相外,还有(Ti2 ,Al)N 相和Al2O3 等相,且随铝含量的增加,(Ti,Al)N 相的(111) 峰减弱,(200) 面逐渐成为其择优生长晶面.当镀层中铝含量较低时,失效以粘着磨损为主;铝含量较高时,失效以磨粒磨损为主,因此可以通过控制铝含量来提高镀层的耐磨性.
引用
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共 1 条
[1]  
Cathodic arc evaporationinthenfilmfechnology. VyakocilJ,MusliJ. Journal of Vacuum Science and Technology . 1992