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位敏器件及在微小位移测量中的应用
被引：2
作者：
苏梅俊
机构：
[1] 合肥工业大学
来源：
关键词：
位敏器件，光切法，横向光电效应;
D O I：
10.16818/j.issn1001-5868.1996.04.005
中图分类号：
TN36 [半导体光电器件];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍了半导体位敏器件（ＰＳＤ）的原理及特点，光切法测量微小位移原理以及利用ＰＳＤ和光切法测量的有关光路和信号处理电路。该装置可实现对金属及非金属表面位移的非接触测量。
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页码：323 / 326
页数：4
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