外差干涉仪中光路调整的分析

被引:3
作者
于瀛洁
李鹏生
强锡富
熊岗
机构
[1] 哈尔滨工业大学机电学院!黑龙江哈尔滨
关键词
外差干涉仪; 光路调整; 渥拉斯顿棱镜;
D O I
暂无
中图分类号
TH744.3 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
分析了共光路外差干涉仪光路中几个组成元件的调整方法 ,包括入射光位置的调整、渥拉斯顿棱镜位置的调整、被测表面位置的调整等。
引用
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共 1 条
[1]  
激光基础.[M].李士杰;姜亚南主编;.机械工业出版社.1988,