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非接触法在微电机力矩测试中的应用
被引:12
作者
:
论文数:
引用数:
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机构:
郭占社
[
1
]
论文数:
引用数:
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机构:
吴一辉
[
2
]
论文数:
引用数:
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机构:
孟永钢
[
1
]
机构
:
[1]
清华大学摩擦学国家重点实验室
[2]
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
来源
:
仪器仪表学报
|
2006年
/ 01期
关键词
:
非接触法;
微电机;
输出力矩;
测量误差;
D O I
:
10.19650/j.cnki.cjsi.2006.01.021
中图分类号
:
TH823.4 [];
学科分类号
:
摘要
:
为解决温度、振动、摩擦力、空气流动等因素对微电机力矩测试精度影响大的问题,提出了利用非接触法对微牛·米级微电机输出力矩进行测试的测量方法。对自行研制的测试设备——微力矩测试仪的工作原理及测试精度进行了详细分析。用所提出的测试方法和设备对电磁式微电机的力矩特性进行了测量,测试结果表明:该测试方法测量精度高,能够满足微牛·米级微电机力矩特性测试的要求。
引用
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页数:4
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基于微机械工艺的平面微电机的研究
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郭占社
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郭占社
;
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机构:
中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室
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;
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