DW DM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪

被引：6

作者：

孙大雄

菊池和夫

蔡旭阳

唐骐

李正中

机构：

[1] 新科隆株式会社!东京-

[2] 台湾中央大学光电科学研究所!台北

来源：

光学仪器 | 1999年 / Z1期

关键词：

光学膜厚监控; DWDM滤光片;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

随着信息技术的发展对高密度波分复用（ＤＷＤＭ）滤光片的需要越来越大。而高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备ＤＷＤＭ滤光片的关键。文中论述了所建立的制备用于１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚＤＷＤＭ滤光片的高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力为０．１ｎｍ，重复性精度为±０．０５ｎｍ。信噪比与温度漂移特性分别为±０．０１％和０．０５％／ｈ。还论述了该系统的实际实验结果。

引用

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