微硅陀螺性能影响因素及其对策研究

被引：28

作者：

吴学忠

刘宗林

李圣怡

机构：

[1] 国防科技大学微机电研究中心,国防科技大学微机电研究中心,国防科技大学微机电研究中心湖南长沙,湖南长沙,湖南长沙

来源：

关键词：

微硅陀螺; 制作工艺; 微机电系统;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.z1.082

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

论述了微硅陀螺的发展概况 ,总结了微硅陀螺的几类典型结构 ,分析了微硅振动陀螺总体性能的影响因素。从制作工艺、材料特性、系统模型的确立及接口设计上详细分析了性能约束因子。针对这些约束因素 ,本文提出了提高振动微硅陀螺性能的对策及发展方向

引用

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