液晶实时掩膜技术制作连续微光学元件

被引:20
作者
彭钦军
郭永康
陈波
刘世杰
曾阳素
机构
[1] 四川大学物理系信息光学研究中心,四川大学物理系信息光学研究中心,四川大学物理系信息光学研究中心,四川大学物理系信息光学研究中心,四川大学物理系信息光学研究中心成都,成都,成都,成都,成都
关键词
应用光学; 实时掩膜; 液晶显示器件; 连续微光学元件; 光刻;
D O I
暂无
中图分类号
TN256 [集成光学器件];
学科分类号
摘要
提出制作连续微光学元件的一种新技术———液晶实时掩膜技术 ,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论 ,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验 ,用全色银盐干板 (Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为 118.7μm ,深为 1.32 2 μm的 5 6× 48的轴锥镜的列阵。
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