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圆度误差分离技术中若干问题的探讨
被引:9
作者:
叶京生
顾启泰
机构:
[1] 清华大学
来源:
关键词:
误差分离技术;
导轨;
多步法;
测量精度;
计算方法;
圆度测量仪;
测量仪表;
圆度仪;
传动轴;
主轴;
回转精度;
偏心误差;
D O I:
暂无
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学科分类号:
摘要:
由Talyrond 3型圆度仪、精密分度转台和IBM-PC微机组成了计算机辅助纳米级圆度测量系统,它采用多步法误差分离技术,将圆度仪的测量精度由原来的0.025μm提高到0.002μm。讨论了多步法的原理、方法误差能及分度转台设计中的几个问题。
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