五自由度宏/微双重驱动并联机构及其运动学分析

被引:4
作者
赵铁石
冯海兵
刘艳辉
边辉
机构
[1] 燕山大学机械工程学院
关键词
宏/微双重驱动; 并联机构; 扫描电子显微镜;
D O I
暂无
中图分类号
TP242 [机器人];
学科分类号
1111 ;
摘要
提出了一种扫描电子显微镜用4-PSPS/PRPUR五自由度宏/微双重驱动并联机构,该机构可以实现三维移动和两维转动。采用螺旋理论分析了该机构的自由度,采用基于螺旋系线性相关性的并联机构输入选取判别方法,选取了驱动副并进行了合理性判别。在此基础上对该双重驱动并联机构进行了位置反解分析,结合其应用给出了数值算例,并进一步对该机构进行了速度、加速度分析,且给出了速度、加速度的数值算例。
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页码:501 / 507+515 +515
页数:8
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