一种新型集成微麦克风和扬声器的设计

被引：1

作者：

任天令

张林涛

刘理天

李志坚

机构：

[1] 清华大学微电子所!北京

来源：

电子器件 | 2000年 / 04期

关键词：

集成微麦克风和微扬声器; PZT; 铁电薄膜; 悬臂式结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN64 [电声器件];

学科分类号：

080903 ;

摘要：

:基于现有的硅基 Pb(Zr,Ti) O3 (PZT)铁电薄膜的制备工艺 ,提出了一种用于微麦克风和扬声器的新型 PZT悬臂式振膜结构。对这种悬臂结构的结构参数进行了优化设计 ,并对其灵敏度和声输出进行了理论分析。结果表明采用这种 PZT悬臂式结构的微麦克风和扬声器的性能有望超过以往文献中报道过的微麦克风和扬声器。

引用

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