亚波长周期结构抗反射介质光栅的衍射特性

被引：7

作者：

曹召良

卢振武

李凤有

任智斌

刘玉玲

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春

来源：

光电子·激光 | 2003年 / 07期

关键词：

耦合波理论(RCWA); 临界周期点; 拟合; 亚波长; 折射率; 光栅;

D O I：

10.16136/j.joel.2003.07.008

中图分类号：

TN253 [光纤元件];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

用严格耦合波理论(RCWA)计算了当折射率取一系列离散值时的二维亚波长周期结构介质光栅出现一级衍射透射波的周期值,进而利用最小二乘法拟合出临界周期点随折射率的变化规律;利用一维单台阶和多台阶光栅在TE、TM偏振状态以及二维单台阶圆柱状光栅和二维金字塔结构多台阶光栅进行验证,发现它们同样满足临界周期点的变化规律。结果证明,对于任意面形的亚波长周期结构介质光栅的一级衍射效率都有这一规律。

引用

页码：694 / 697

页数：4

共 8 条

[1]

Thedesignofbinarydiffractivemicrolenswithsubwavelengthstructures. CHENSixiang,YIXinjian,ZENGYanan. 光电子.激光 . 2001

[2]

FaklisD,MorrisGM.Spectralpropertiesofmultiorderdiffractivelenses. Applied Optics . 1995

[3]

RalfBr¨auer,OlofBryngdahl.Electromagneticdiffractionanalysisoftwo dimensionalgratings. Optics Communication . 1993

[4]

EricBGrann,MGMoharam,DrewAPommet.Optimaldesignforantireflectivetaperedtwo dimensionalsubwavelengthgratingstructures. Journal of the Optical Society of America A Optics Image Science and Vision . 1995

[5]

T K Gaylord,M G Moharam.Planar dielectric grating diffraction theories. Applied Physics . 1982

[6]

ZHANG Dian-wen,LU Zhen-wu,YU Wei-xing,et al.Electromagnetic diffraction analysis of columned grid gratings. Journal of Optics A Pure and Applied Optics . 2002

[7]

Daniel H Raguin,G Michael Morris.Antireflection structured surfaces for the infrared spectral region. Applied Optics . 1993

[8]

Eric B Grann,M G Moharam,Drew A Pommet.Artificial uniaxial and biaxial dielectrics with use of two-dimensional subwavelength binary gratings. Journal of the Optical Society of America A Optics Image Science and Vision . 1994

← 1 →