共 1 条
微米纳米技术及微型机电系统
被引：29
作者：
周兆英
叶雄英
崔天宏
张联
不详
机构：
[1] 清华大学精密仪器与机械学系
来源：
关键词：
微型机电系统,微米纳米制造技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP271.4 [];
学科分类号：
摘要：
微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程，微细加工的进展，微型机电系统的概念、主要研究课题，以及它的应用领域。
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