基于光谱光学相干层析技术的膜系反射光谱测量

被引：6

作者：

陈宇恒 ^{[1
]}

丁志华 ^{[2
]}

孟婕 ^{[2
]}

机构：

[1] 苏州大学现代光学技术研究所

[2] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

来源：

基金：

浙江省自然科学基金;

关键词：

薄膜; 光谱测定; 光谱光学相干层析; 傅里叶变换; 多层膜系; 反射率;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN29 [光电子技术的应用];

学科分类号：

摘要：

根据光谱光学相干层析(OCT)技术的原理,建立了光谱光学相干层析系统,并利用该系统测量了膜系的反射光谱。该方法通过傅里叶变换实现了光学相干层析信号光谱信息的提取,克服了传统反射测量方法测量结果不直观、受非测量面干扰等问题。测量所得的光谱反射率,与商业仪器的测量值吻合较好,均方差仅为0.0488。

引用

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