薄膜型TMA气体传感器的研制

被引：2

作者：

管玉国

戴国瑞

南金

朱勇

机构：

[1] 吉林大学电子工程系!长春访问学者　副教授

[2] 吉林大学电子工程系!长春

来源：

传感技术学报 | 1997年 / 04期

关键词：

气体传感器; TMA气体; 表面修饰;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.2 [化学传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

本文报道了采用等离子体CVD方法制备Fe2O3/TiO2薄膜材料,并用浸渍法对表面修饰了In,制成了检测鱼鲜度了TMA的薄膜气体传感器,并具有很好的灵敏度、选择性、稳定性和响应、恢复特性。

引用

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共 4 条

[1]

Takao Y,Fukuda K,Shimizu Y and Egashira M. Sensors and Actuators . 1993

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Takao Y,Iwanaga Y,Shimizu and Egashira M. Sensors and Actuators . 1993

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