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声空化物理化学综合法制备发光多孔硅薄膜的微结构与发光特性
被引：6
作者：
刘小兵
史向华
廖太长
任鹏
柳玥
柳毅
熊祖洪
丁训民
侯晓远
机构：
[1] 长沙理工大学物理与电子科学系
[2] 湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室
[3] 长沙理工大学期刊中心
[4] 复旦大学应用表面物理国家重点实验室
[5] 西南师范大学物理系
[6] 复旦大学应用表面物理国家重点实验室 长沙
[7] 上海
[8] 长沙
[9] 长沙理工大学计算机与通信工程学院
[10] 重庆
来源：
基金：
湖南省自然科学基金;
关键词：
声空化方法;
微结构;
发光特性;
多孔硅;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
声空化所引发的特殊的物理、化学环境为制备高效发光的多孔硅薄膜提供了一条重要的途径 .实验结果表明 ,声化学处理对于改善多孔硅的微结构 ,提高发光效率和发光稳定性都是一项非常有效的技术 .超声波加强阳极电化学腐蚀制备发光多孔硅薄膜 ,比目前通用的常规方法制备的样品显示出更优良的性质 .这种超声的化学效应源于声空化 ,即腐蚀液中气泡的形成、生长和急剧崩溃 ,在多孔硅的腐蚀过程中 ,孔中的氢气泡 ,由于超声波的作用增加了逸出比率和塌缩 ,有利于孔沿垂直方向的腐蚀 .
引用
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页数：6
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