半导体厂含氟废水处理工程改造

被引:13
作者
程姣 [1 ]
石凯 [2 ]
李应华 [1 ]
机构
[1] 深圳深爱半导体有限公司
[2] 深圳方正微电子有限公司
关键词
含氟废水; 化学沉淀; 工艺改造;
D O I
暂无
中图分类号
X703 [废水的处理与利用];
学科分类号
083001 [环境科学];
摘要
半导体生产废水中氟化物浓度较高,原有除氟工艺为二级加药[石灰、Al2(SO4)3]、二级沉淀,但出水氟化物不能达标。现将工艺调整为原水与石灰反应后即直接与Al2(SO4)3反应,再沉淀,同时改善反应条件。在基本不增加总投药量的情况下,出水氟化物浓度可稳定控制在8.0mg/L左右,达到了广东省《水污染物排放限值》(DB 44/26—2001)的一级标准。
引用
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