高反射硅镜弱吸收的研究

被引：9

作者：

王英剑

胡海洋

李庆国

范正修

机构：

[1] 中国科学院上海光机所

来源：

中国激光 | 2001年 / 10期

关键词：

表面热透镜技术; 原子力显微镜; 弱吸收;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

运用表面热透镜技术精确测量 1315nm高反射硅镜的弱吸收 ,并结合原子力显微镜所显示的薄膜表面情况判断引起吸收的原因 ,为工艺上减少吸收降低损耗提供测量保证

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[1]

Photothermal displacement spectroscopy: An optical probe for solids and surfaces[J] . M. A. Olmstead,N. M. Amer,S. Kohn,D. Fournier,A. C. Boccara.Applied Physics A Solids and Surfaces . 1983 (3)