柔性铰链放大器的设计与加工技术

被引：23

作者：

刘德忠

许意华

费仁元

宇惠平

王波

机构：

[1] 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院

来源：

关键词：

钠米定位; 压电微位移器件; 柔性铰链; 线切割;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH702 [设计、计算与制图];

学科分类号：

摘要：

为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷，设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器，以满足大行程纳米定位的需要．详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键．

引用

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