基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计

被引：5

作者：

蔡春丽

刘志远

王惠玲

于海超

王洪岩

机构：

[1] 中国电子科技集团公司第四十九研究所

来源：

传感器与微系统 | 2009年 / 06期

关键词：

传感器; 气体流量; 热膜;

D O I：

10.13873/j.1000-97872009.06.036

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器,介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计,并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明:该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出,功耗低于0.1W,响应时间小于50m s,精度可达到0.6%FS,能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求。

引用

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页数：4

共 6 条

[1] 基于热传递的铂膜气体流量计实验研究 [J].