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- [3] SAE Paper 830167 Int.Automotive Eng. Congress. Detroit.M1;U..W.J.Kaiser et al;.S.A.1983,
- [4] ..A.W. Snow et al;.J.Am. Chem. Soc.1984,
- [5] SAE Paper 840142; lnt.Automotive Eng. Congress. Detroit. M1; U..J.L. Pfeifer et al;.S. A.1984,
气体传感器中的厚薄膜技术
被引：5
作者：
易惠中
机构：
[1] 国营厂
来源：
关键词：
气体传感器;
厚膜;
薄膜;
超微粒子薄膜;
LB膜;
D O I：
10.13873/j.1000-97871992.01.002
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
厚薄膜技术已广泛用于制作气体传感器,在气敏技术中起重要作用。综述了在气体传感器制造中使用的厚薄膜技术,包括厚膜、薄膜、超微粒子薄膜和LB膜技术。
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