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高性能的类金刚石红外光学薄膜
被引：9
作者：
姜杰
机构：
[1] 昆明物理研究所
来源：
关键词：
类金刚石薄膜，红外多层抗反射膜，射频等离子化学气相沉积;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN213 [红外光学材料];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
综述了类金刚石红外光学薄膜在红外光学领域的应用，表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料，而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了在类金刚石薄膜进一步开发、研究及应用中仍需解决的一些工艺及技术问题，描述了制备大尺寸均匀性类金刚石薄膜的可行性方案。
引用
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