高精度电容式压力传感器测量方法

被引：12

作者：

周华鹏 ^{[1
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毛建国 ^{[1
]}

顾筠 ^{[2
]}

李芳培 ^{[1
]}

柏方超 ^{[1
]}

卢文玉 ^{[1
]}

机构：

[1] 南京航空航天大学能源与动力学院

[2] 江苏广播电视大学信息工程系

来源：

传感器与微系统 | 2010年 / 29卷 / 02期

关键词：

压力传感器; 信号调理; 压力测量; 单片机;

D O I：

10.13873/j.1000-97872010.02.038

中图分类号：

TP212.11 [];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

提出了一种高精度、低成本的电容式压力传感器的测量方法。用RC振荡器将电容式传感元件的变化调制为时变频率信号,用SSP1492芯片测量该频率变化量,并送入C8051F021单片机,用高阶多项式完成频率变化到压力变化的解算,实现了高精度压力测量。实验结果显示:该方法用于电容式压力传感器的测量精度优于0.02%FS。

引用

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