新型磁悬浮精密定位平台的研究

被引：9

作者：

郝晓红

梅雪松

张东升

陶涛

姜歌东

不详

机构：

[1] 西安交通大学机械工程学院

[2] 西安交通大学机械工程学院西安

[3] 西安

[4] 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室

来源：

西安交通大学学报 | 2005年 / 09期

关键词：

磁悬浮; 精密定位平台; 稳定性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH112 [机构学];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题,设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台.该平台采用12个空心电磁线圈做定子、36块永磁体做动子,悬浮部分与驱动部分相互独立,从而很好地解决了由电磁线圈铁心引起的非线性以及悬浮与驱动单元之间的相互耦合问题.采用罗仑兹定律,分析了永磁体长度、线圈电流和悬浮位移对悬浮稳定性的影响,确定了平台的悬浮平衡位置,建立了平台在平衡位置附近的悬浮数学模型,并进行了动态响应仿真研究.研究结果表明,该磁悬浮精密定位平台在悬浮电流为2 A、悬浮高度为0.5 mm时可以稳定悬浮,因此可应用于需要超精密定位和超洁净环境的半导体光刻装置中.

引用

页码：937 / 940

页数：4

共 5 条

[1]

Precision stage using a non contact planar actuator based on magnetic suspension technology. Kwang S J,Yoon S B. Mechatronics . 2003

[2]

Stabilization of one degree-of-freedom control type levitation table with permanent magnet repulsive forces. Choi K B,Cho Y G,Shinshi T. Mechatronics . 2003

[3]

High-precision magnetic levitation stage for photolithography. Kim W J,Trumper D L. Precision Engineering . 1998

[4]

Magnetic supported intelligence hand for automated precise assembly. Tsuda M,Higuchi T,Fujiwara S. IEEE Transaction on Industrial Electron, Control and Instrumentation . 1987

[5]

A six-degree of freedom magnetically levitated variable compliance fine-motion wrist: design, modeling and control. Hollis R L,Allan A P,Salcudean S. IEEE Transaction on Robotics Automation . 1991

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